GAIA3 是一款完全由计算机控制的镓离子源聚焦离子束 - 超高分辨率场发射扫描电子显微镜，可选配气体注射系统，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的电子光学性能，清晰的数字化图像，成熟、用户界面友好的操作软件等特点。基于Windows平台的操作软件提供了简单的电镜操作和图像采集，可以保存标准文件格式的图片，可以对图像进行管理、处理和测量，实现了电镜的自动设置和其它许多自动操作。

*重要的特性：

u  具有超高分辨率的单极60度角物镜；

u  无磁场模式用于磁性样品的观察；

u  高亮度肖特基电子枪可得到高分辨率/高束流/低噪声的图像；

u  镜筒中的In-Beam二次电子探测器用于小工作距离条件下二次电子的检测；

u  独有的三透镜大视野光学（Wide Field Optics^TM）设计，提供了多种工作模式和显示模式，体现了TESCAN专有的中间透镜（IML）的功能；

u  实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™）技术，模拟和实现电子束优化，可直接连续控制束斑和束流大小；

u  电子束减速模式下低电压可获取优秀的分辨率(选配)；

u  In-Beam背散射电子探测器用于小工作距离的背散射电子成像；

u  利于EDX、EBSD分析的理想几何设计；

u  由于使用了强力的涡沦分子泵和机械泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室；电子枪的真空度由离子泵来维持；

u  包括电子光学设置和校准的全自动显微镜设置；

u  完善的软件用于SEM控制，图像采集、存档、处理和分析；多用户多语言操作界面；

u  网络操作和内置的远程控制/诊断是TESCAN的标准配置；

u  独特的3维电子束技术用于获得实时立体图像；

u  扩展的低真空模式使样品室真空可达500 Pa，用于非导电试样的观察；

u  Cobra镜筒在高束流下具有超高的分辨率和优良的性能；

u  独特的离子光学差异泵（两个离子泵）可降低离子散射效应；

u  配有高重复性马达驱动光阑转换器的聚焦离子束镜筒；

u  标配电子束遮没装置和法拉第杯的离子束镜筒；

u  自动FIB切割、信号采集以及3维重构技术（断层扫描），实现3D EBSD、3D EBIC等集成可视化3维 (选配)；

u  FIB铣削或沉积时SEM同时成像（两个独立的扫描发生器）；

u  刻蚀或沉积过程中FIB局部成像；

u  强大的电子束写入工具，包含大量基本的和高级的、可进行各种工艺参数编辑的对象；

u  成熟的SEM/FIB/GIS操作软件用于图片的获取、存档、处理和分析；多用户多语言的操作界面。