简介：

单晶硅生长炉是采用直拉法生产太阳能级单晶的设备，在单晶硅的生产中，能否拉出符合质量要求的单晶，整个工艺卫生所起的作用是至关重要的，清炉这一环节是十分重要。单晶硅生长炉所需清炉的部位有：所有石墨器件上的浮尘和氧化硅一定要吸除干净;真空排气口和管道的氧化物每次清炉时都应清除干净，以保证排气畅通。氧化物的沉积目前需要人工细致的清理，不仅费时费力，也会因局部清理不到位而给生产带来隐患，采用非接触全方位的专用清炉设备是改进这一工艺的有效途径。可以增强炉体的清洁能力，提高单晶炉的工作效率，使其更安全，更经济的可靠运行。

工作原理：

单晶硅生长炉专用清炉设备以压缩空气作为动力源，产生一定脉冲能量的冲击波，使积灰、结垢在炉体内或管道内的附着状态产生分离，并使原有的积灰、结垢发生疲劳断裂和破碎。积灰和结垢在冲击波的作用下，从附着面剥离而被一定流速流动的气体带出，根据积灰的物理性质优化控制使积灰得以及时有效地清除，保持炉体清洁。