管式气氛炉是根据需方技术要求专门设计订制用于锂电池行业硅粉、氧化亚硅粉的高温烧结，也可用于稀有金属、半导体材料扩散、氧化工艺，尽可能满足其重点特殊要求；同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、氧化亚硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种渡膜（LPCVD）工艺。该炉采用加热元件选用进口KTL电阻丝绕螺旋穿刚玉管方式加热，加热管上下布置加热，310S不锈钢管为炉管；日本进口岛电温控仪表控制，温区设计隔板结构，温度均匀。设备通一路氩气，浮子流量计控制。具有温度均匀、控制稳定、具有温度扰动小、升温速度快、使用温度高、保温效果好、寿命长、节能、降温速度快等特点，是企业规模生产的理想设备。