设备特点

多工位6个产品同时测试，高UPH

高可靠性测试治具设计

高精度激光轮廓仪（高度方向精度:±0.2um，宽度方向精度：:±2.5um）

高精度高稳定性测试台（设备测试位振幅：<2um），可定制三姿态测试转台

柔性化模块化设计，可以快速切换机种及更换测试模块

功能&规格