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浚和（上海）仪器科技有限公司
Kashiyama真空泵SDE系列
1.可达到200kL/min.
2.*适合大尺寸晶圆和FPD使用。
3.经得起各种工艺的考验。
KASHIYAMA真空泵SDE系列规格
规格书 /产品介绍
SDE1220
SDE20M20
SDE30M20
SDE4060
SDE4030M20
SDE8060
SDE804060
**抽速[L/min]
20,000
30,000
50,000
60,000
80,000
120,000
190,000
极限压力[Pa]
0.5
0.8
电源电压(50/60Hz)
3 Phase AC200～220V，380～480V
尺寸[mm] 宽W*高H*长L
W:400
H: 780
L:930
W:450
H: 950
L:1000
W:750
H: 1200
L: 1600
W:800
H: 1580
L:1320
W:850
H: 1220
W:1000
H: 1980
L:1850
邮箱：libatterychina@163.com 北京：北京市海淀区上地三街9号金隅嘉华大厦C座904 010-62980511 山东：山东省临沂市鲁商中心A8楼1单元9层 0539-8601323
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