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高德英特（北京）科技有限公司

高级会员第4年
所在地区：北京
认证信息：商安信认证
FIG-5离子枪
溅射仪-FIG-5离子枪
价  格面议
  • 品牌
    高德英特
    型号
    FIG-5离子枪
  • 产地
    北京
    关注度
    965
  • 信息完整度
    溅射气体
    *
  • 样品台尺寸
    *
    样品仓尺寸
    *
  • 靶材尺寸
    *
    靶材材质
    *
  • 控制方式
    其他
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产品简介

FIG-5离子枪

 

简介

ULVAC-PHI Model FIG-5型离子枪是一种高效能的溅射离子枪，它可以在高真空的条件下，有效地使用5kV加速电压。*小的离子束斑大小约为150um。此外，FIG-5型离子枪也可以工作在极低的能量范围如10eV用作中和目的，也可在200eV低能量范围用作溅射超薄薄膜。它可采用0-10V外置电源控制离子束的扫描。FIG-5型离子枪标准配置还包括差分抽气口。该离子枪的全部操作采用RS-232 接口由计算机控制。

956.jpg

图1 - ULVAC-PHI FIG-5型离子枪

 

性能规格

工作电压： 0-5kV
**束流：≥10uA @ 5kV Beam Voltage
低压性能：≥12nA @ 10eV Beam Voltage
*小束斑：≤200um
离子源类型：电子轰击
发兰接口：ICF70
工作距离：30-70mm