气体团簇粒子束GCIB

简介

PHI Ar₂₅₀₀ 气体团簇离子枪是进行深度分析有机物和聚合物而不破坏其化学状态的有效工具。类似于C₆₀的应用，使一次离子束得能量均分到60个碳原子上； Ar₂₅₀₀能获得更低的冲击能量，由于其团簇是由2500个氩离子构成。这种Ar₂₅₀₀ GCIB氩离子在深度分析时，对样品造成的破坏很小，同时也避免了类似C-60离子溅射过程中离子堆积的可能性。总之， Ar₂₅₀₀ GCIB自身非常适合深度分析，如聚亚酰胺（PI）等广泛用于半导体、太阳能电池和显示器工业的材料。ULVAC-PHI该型号产品在第五十七届国际博览会（2011年10月17-22日在Albuquerque, NM.举行）上被美国真空学会（AVS）授予**展品奖。

图1 - ULVAC-PHI**的Ar₂₅₀₀ GCIB型离子枪

应用优势

聚亚酰胺（PI）薄膜样品用不同Ar离子束流能量溅射后，下面的表格1总结了XPS测试的溅射前后化学组成。

表1 - Ar离子溅射前后聚亚酰胺（PI）样品原子浓度的汇总

从上面的结果中，看出Ar离子溅射后聚亚酰胺样品化学组成明显改变，该样品紧接着用配有Ar₂₅₀₀ GCIB的XPS进行深度剖析。如下图2所示，Ar₂₅₀₀ GCIB可以非常有效地移除受损层，并将PI层恢复其原本得化学结构，由此可见，即使如PI般的样品，用Ar₂₅₀₀ GCIB溅射的时也不会对化学组成造成破坏。

图2 - Ar离子溅射后的受损层，经Ar₂₅₀₀ GCIB剥离后，回到PI的初始状态