采用电刷镀工艺或防腐蚀隔膜工艺生产, 防止腐蚀材料对泵体露点进行腐蚀。采用电刷镀工艺或防腐隔膜工艺，防止泵体露点腐蚀。泵体及气体接触部位采用聚四氟乙烯材料，耐强腐蚀性气体。
　　防腐真空泵结构原理：
　　防腐真空泵工作时，其吸入口与真空容器或真空系统主泵相连。耐腐蚀真空泵转子与转子或转子与泵壳之间无接触，间隙一般为0.1-0.8mm，无需油润滑。转子和圆弧包括渐开线。渐开线转子泵容积利用率高，易于保证加工精度，转子型线采用渐开线型线。