该机组以ZJ罗茨泵为主泵或中间泵，以WLW型立式无油泵为前级泵串联而成，由于WLW型真空泵采用无油润滑，可获得洁净真空，因此在加装尾气收集装置后，可以回收有用气体；同时避免了水环机组所产生的大量废水的排放。但对于抽除腐蚀性或含有颗粒状灰尘的气体是不适用的。