产业链
快速求购

您当前的位置：

KASHIYAMA工业株式会社>真空MU-X系列

KASHIYAMA工业株式会社

高级会员第5年
所在地区：日本
认证信息：商安信认证
真空MU-X系列
真空泵-真空MU-X系列
价  格面议
  • 品牌
    Kashiyama
    型号
    真空MU-X系列
  • 产地
    日本
    关注度
    536
  • 信息完整度
    材质
    其他
  • 连接方式
    其他
    驱动方式
    其他
  • 泵轴位置
    其他
索取资料及报价
产品简介

KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

主要产品

规格。/产品MU100XMU180XMU300XMU600XMU1218XMU20N18X
**值抽速
[升/分钟]*1		1,6603,0005,00010,00020,00030,000
极限压强
[啪]*1		1.50.5
电源电压
(50/60赫兹)		三相交流200至220伏*2
功率消耗
[千瓦]*3		0.350.50.550.60.91.0
尺寸[毫米]长×宽×高*4450×230×275550×280×299450×230×520530×230×520870×380×7511000×450×950
质量[千克]6095100120270410

*1)不带N2清洗。*2)如需其他电压选项，请联系我们。*3)大约。极限压力下的值。*4)包装尺寸。
*联系我们了解国际标准合规性。规格。产品名称如有变更，恕不另行通知。
*关于大容量泵，请联系我们。

S-P曲线

S-P Curve