扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件

和光导纤维等行业的扩散，氧化，退火、合金和烧结等工艺。水平管式炉的设计考虑了硅片生产的多种工艺性能

需要，具有**生产能力和优越的性能指标。