一、设备用途：
     本设备按照每组炉管内产品的工艺要求，设定适合的温区曲线，3温区同步工作，完成产品的真空或氮气、氩气保护气氛退火。
二、设备技术参数：
1.**温度：700℃。
2.工作温度：350—600℃；
3.炉管内尺寸：Φ156×1100（内径×长度)mm。
4.加热方式：电加热模块炉管外加热。
5.温区数：共设置18个独立控温区，每个炉管3个独立温区。
6.控温精度：±1℃；
7.控温方式：单相固态继电器SSR控制；
8.炉体外形（不含控制柜）约为：1400×1400×2400（L×W×H)mm；
9.装机功率：45 kW；
10.极限真空度：0.5mBar。
三、设备组成结构：
      设备主要由炉体、炉管、真空系统、气路、温控系统、电