多功能集成测量附件

设计安装在广角测角仪上，用于对板状材料、块状材料及基板上的膜的分析，进行晶相检出、取向度检测、应力测试分析等，可以进行织构、应力、薄膜面内结构等测试。

功能特点

采用透射法或反射法进行极图测试；

可以采用并倾法或者同倾法进行应力测试；

薄膜测试（样品的面内旋转）

应用领域

辊轧板等金属集合组织的评价；

陶瓷取向的评价；

薄膜样品晶体优先方位的评价；

各种金属材料、陶瓷材料的残余应力测试（耐磨耗性、耐切削性等的评价）；

多层膜的残余应力测试（膜的剥落等的评价）；

高温超导材料薄膜、金属板等表面氧化、氮化膜的分析；

玻璃、Si、金属基板上的多层膜的分析（磁性薄膜、金属表面硬化皮膜等）；

大分子材料、纸、镜片等电镀材料的分析。

技术规格

α轴（倾斜）:       动作范围 -45°~90°, 较小步距 0.001°/步       

β轴（面内旋转）: 动作范围 0°~360°, 较小步距 0.001°/步

x轴: 动作范围：   动作范围 ±10mm，较小步距 0.001mm/步 

y轴: 动作范围：    较小步距 0.001mm/步 

z轴（前后旋转）: 动作范围 ±10mm, 较小步距 0.001mm/步                

样品尺寸:             较大Φ40mm，厚度10mm