Coresic® SP碳化硅是采用超细碳化硅微粉喷雾造粒，等静压、干压方法成型，经无压烧结而成的自结合细晶阿法型碳化硅，其密度大于理论密度的98%。

Coresic® SP碳化硅具有广泛的优越性能：

高强度、高致密度、硬度接近金刚石、耐磨损；

优秀的化学稳定性，能抵抗各种酸、碱及有机溶剂类的腐蚀；

高导热率、低热膨胀系数、耐热冲击，并且*低热变形；

耐高温1600摄氏度以上，具有优秀的抗氧化性能；

电阻率在106-108Ω、无磁性，符合抗ESD的规范要求；

高比刚度和出色的热均匀性，长期使用不易弯曲变形；

全面的耐化学腐蚀能力

耐电浆轰击，特别适用于刻蚀设备；

低密度、质量轻。