高真空等离子体QBT-A

QBT-A高压PEALD系统介绍：

 技术参数：         

1高真空HV腔体: 2个腔室，包括进样室和ALD，负载锁，极限真空极限压力<9e-6 Torr

2工艺腔极限真空：<5E-7Torr

3等离子体 ：**600W RF自匹配电源

4**基板尺寸 ：Ф200mm，氧化铝均匀性<1%                              5高精准样品加热控制：RT-500±1ºC 

6前驱体： **可包括3组等离子体反应气体 4组液态或固态反应前驱体

7臭氧发生器：可选配，生产效率15g/h

8传输：高真空自动化传输

9人机界面：全自动化人机操作界面

10安全：工业标准安全互锁，工业安全联锁，报警装置。

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