开关电源等离子处理设备：诚峰智造

真空式等离子处理系统CRF-VPO-MC-6L

名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中频电源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

层数（Electrode of plies）

6（Option）

有效处理面积（Area）

500（L）*500（W）（Option）

气体通道（Gas）

两路工作气体可选： Ar、N2、CF4、O2

产品特点：处理空间大，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，有效控制设备运行。

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。

保养维修成本低，便于客户成本控制。

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。

应用范围：主要适用于生物医疗行业，印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。

半导体真空电浆清洗机是一种先进的高科技设备，是利用等离子体进行清洗活化改性蚀刻，提高附着力等作用的设备，在使用时，一定要按照说明书的要求进行操作，其中有些使用方法都有哪些知识也需要了解，今天就给大家具体介绍一下。

在半导体真空电浆清洗机抽真空作业时，一定要使三通阀指向闭合状态，也就是说，让箭头向下，然后打开真空泵的电源，看看真空泵的旋转方向是顺时针还是逆时针，如果是顺时针，则正常，在检测完毕后，再将电源关闭。

在启动真空泵前，确保真空电浆清洗机与真空泵连接，此时等离子处于闭合状态，启动后等离子舱将产生发光。

在抽气时，要将三通阀打开，使之与室内空气相通，然后在将针形阀打开时，注意要轻柔地打开，让空气慢慢进入真空电浆清洗机机舱内，形成等离子体，然后再将前部的控制面板的电源打开。

在进行等离子体处理时，要根据所需时间处理好样品，处理完成后，在RF中关闭，清洗完毕。

用半导体真空电浆清洗机时，可参照以上内容进行，只有操作正确，才不会发生故障，另外，在切断电源后，还要检查等离子清洗机后电源边缘保险箱内的保险管是否正常，有无烧断的痕迹，如果有损坏，一定要更换新的匹配的保险管。