| 高低温真空探针台
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型号
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SCG-O-2
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SCG-O-4
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SCG--C-2
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外形
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900*900*530mm
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1100*1100*530mm
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1100*1100*1030mm
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重量
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约170KG
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约190KG
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约290KG
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电力需求
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AC220V,50~60HZ
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样品台
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尺寸
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2英寸
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4英寸
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2英寸
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样品固定方式
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真空导热硅脂/弹簧压片
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样品台移动
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固定的样品台
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真空度
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10^-10torr**真空
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光学特性
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显微镜行程
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2*2英寸
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4*4英寸
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2*2英寸
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放大倍数
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变焦：7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X）
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真空腔观察窗尺寸
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2inch
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4inch
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2inch
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CCD像素
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50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
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温控规格
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制冷方式
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液氮/液氦
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制冷压缩机
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控制方式
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开循环手动/自动冷媒流量控制
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闭循环自动控制
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控温范围
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77K~450K/4.2K~450K
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4.2K~450K
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控温分辨率
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0.001K
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温度稳定性
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4.2K ±0.2K 77K ±0.1K
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373K ±0.08K 473K ±0.1K
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823K ±0.2K(可选） 973K ±1.0K(可选）
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常温到8K冷却时间
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90min
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150min
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8K到常温升温时间
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90min
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90min
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常温开始的升温时间
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100℃ 150℃ 200℃
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30min 50min 80min
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加热电源
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LVDC 低压直流
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传感器
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硅二极管
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传感器数量
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样品台，防辐射屏，探针臂各一个
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功率
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50W/100W/500W/1000W
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点针规格
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探针数量
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2个/4个/6个
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探针调节
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真空波纹管外部调节，手动控制
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点针精度
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10微米/2微米/0.7微米
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X-Y-Z行程
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25mm-25mm-25mm
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漏电精度
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10pA/100fA
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接口形式
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三轴/SMA/K/光纤接口
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可选附件
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防震桌
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多级压缩制冷机
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机械泵/分子泵组/离子泵
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射频部件
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Chuck运动装置
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电磁铁系统/超导磁铁系统
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1Mpa正压系统升级
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超高温升级选件
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超高真空升级选件
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客户特殊定制
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应用方向
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高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等
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特点
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可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~450K）
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可升级加载磁场
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防辐射屏设计，样品温度均匀性更好
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支持光纤光谱特性测试
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兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
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器件的高频特性(支持**67GHz频率)
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探针热沉设计
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LD/LED/PD的光强/波长测试
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自动流量控制
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材料/器件的IV/CV特性测试 |
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