| 半自动分析探针台
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型号
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SHCV-6
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SHCV-8
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SHCV-12
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外形
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860mm*850mm*700mm
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880mm*860mm*750mm
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1300mm*920mm*920mm
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重量
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约180KG
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约250KG
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约380KG
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电力需求
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AC220V,50~60HZ
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Chuck
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尺寸
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6英寸
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8英寸
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12英寸
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X-Y轴行程
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6*6英寸
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8*8英寸
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12*12英寸
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X-Y轴移动解析度
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0.1um
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X-Y轴重复定位精度
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±1um
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移动速度
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≥ 50 mm/sec
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Z轴行程
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10mm
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Z轴移动解析度
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0.1um
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Z轴重复定位精度
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±1um
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Theta角度行程
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±10°
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Theta角度解析度
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0.0001°
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样品固定方式
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多孔真空吸附，独立分区控制
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切换样品功能
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样品台快速拉出
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结构
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同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使用
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针座平台
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规格
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O型平台，*多可放置8个针座
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O型平台，*多可放置10个针座
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O型平台，*多可放置12个针座
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行程&调节方式
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平台可以快速升降，行程6mm并带自动锁定功能
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温控特性
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温度范围
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﹣100~200℃
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﹣80~200℃
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﹣60~200℃
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温控精度
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温度分辨率 ： 0.01°C
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加热电源
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LVDC 低压直流
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*低控温速率
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±0.1°C /小时
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传感器
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Pt100
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制冷方式
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液氮制冷或者压缩机制冷
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软件功能
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wafer map的编辑
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光学特性
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显微镜行程
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2*2inch |
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仪器的接入
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显微镜行程
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1um
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数据的采集和图像化显示
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放大倍数
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20-4000X
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数据的分析
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CCD像素
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50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
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差异数据的标定Ink mark
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点针规格
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点针精度
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10微米/2微米/0.7微米
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自定义Bin分
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X-Y-Z行程
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12mm-12mm-12mm
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自动测试
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漏电精度
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10pA/100fA
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通讯接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等
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接口形式
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香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口
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大功率规格
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配置
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大功率kelvin样品台
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减震
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主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动
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大功率夹具线缆
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可选附件
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射频测试
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chuck快速拉出装置
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mult-pin 分流探针
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卡盘镀金
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PCB板夹具
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大功率保护模块（针座用）
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激光修复
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液晶热点侦测套装
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保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发时interlock互锁
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探针卡夹具
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光强/波长测试接口部件
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大功率仪器连接模块
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屏蔽箱
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高低温样品台（-80~200℃）
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**测试电压
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10KV
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加热台
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显微镜倾仰装置
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**测试电流
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500A（脉冲）
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应用方向
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晶圆测试，功率器件半自动测试
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特点：
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Si/SiC/GaN等晶圆测试
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超高的测试精度和测试效率
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大功率晶圆测试
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便捷的仪器接入
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（-80~200℃）高低温Chuck
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半自动测试
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20~4000X光学显微放大
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可升级全自动测试
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功能丰富的测试软件
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可升级射频测试 |
手机锂电网
