Phenom ProX 电镜能谱一体机同时具备样品表面微观形貌观测和表面元素成分点、线、面分析。原飞利浦**科学家 Karel.Mast 教授携手 Phenom World 公司，**将电镜和能谱在生产环节集成在一台设备中，后期通过一个软件平台控制操作，用户只需要熟悉一个软件就能同时操控两项功能，技术支持也变得相对简单快速。

Phenom ProX 电镜能谱一体荣获 2012 年全球新产品奖，是扫描电镜能谱行业的一个里程碑。亮度 10 倍于钨灯丝 CeB6 灯丝不仅使 Phenom ProX 电镜能谱一体机提供全世界**的台式扫描电镜分辨率，同时也使得表面元素分析更加准确快速。背散射电子图像用不同的灰度呈现出不同的元素，Phenom ProX 配备的 SDD X 射线探头，定性半定量探测 5-95 号元素的点、线、面分布。

Phenom ProX 电镜能谱一体机具有飞纳系列全自动操作、15 秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3 年更换灯丝等特点，无需防震环境，可放置在任意楼层，能谱无外接部件，无需液氮冷却。

飞纳台式扫描电镜能谱一体机 Phenom ProX 参数

光学显微镜：放大 20-135 倍

电子显微镜：350,000 倍

探测器：高灵敏度四分割背散射电子探测器

灯丝材料：1,500 小时 CeB6 灯丝

分辨率：优于 6 nm

放置环境：采用专业防震设计，可摆放于普通实验室或办公室、厂房

加速电压：5kV-15kV 连续可调

抽真空时间：小于 15 秒

探测元素范围：B（5）- Am（95）号元素

能谱探测器：硅漂移探测器（SDD）

冷却方式：无液氮 Peltier 效应电制冷

Phenom ProX 电镜能谱一体机可选配所有的样品杯选件和所有的拓展功能软件选件。

颗粒统计分析测量系统

颗粒统计分析测量系统软件可以轻松获取、分析图片，并生成报告。借助该软件，用户可以收集到大量亚微米颗粒的形貌和粒径数据。凭借远超光镜的放大倍数，颗粒软件全自动化的测量，可以把工业粉末的设计、研发和品管提升到一个新台阶。

借助颗粒系统软件，用户可随时获得数据。因此，它加快了分析速度，并提高了产品质量。

台式扫描电镜在粉末冶金领域的应用

1. 粉体形貌、粒度观察（<10000×，低压SED）

2. 粉体粒度统计（使用飞纳电镜软件-颗粒统计分析测量系统）

3. 烧结件缺陷检查（使用飞纳电镜软件-超大视野自动全景拼图）

4. 成品表面质量检查+杂质判定（扫描电镜+能谱）

5. 脱脂前后形貌观察

低倍下的二次电子形貌可以看到：金属粉末呈现出大大小小的粒度差异，可以通过自带的测量工具进行测量

130 X

255 X

金属粉体粒度统计功能

涂彩色的颗粒表示被选中并识别的颗粒

颗粒粒径分布柱状图

颗粒粒径和圆度的关系散点图

颗粒粒形分析界面

复纳科学仪器 (上海) 有限公司 (Phenom-Scientific)，负责荷兰飞纳台式扫描电镜在中国市场的推广和销售，提供专业的技术支持和测试服务，飞纳中国拥有专业的服务团队，提供优化的解决方案；飞纳中国提出飞纳学校 （Phenom University）的概念，为用户提供从扫描电镜基础理论到 Level 5 应用工程师的进阶培训，在上海、北京、广州设立了测试中心和售后服务中心，目前飞纳在中国已经拥有超过 1000 名用户。