新型CVD法制备硅碳复合负极材料,其性能不仅取决于原料的选择与优化,沉积设备的关键作用同样不容忽视。沉积设备的核心参数(如温度场均匀性、气流分布特性、压力控制精度等)直接影响材料沉积的均匀性、重复性及工艺安全性。此外,设备的[更多]
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