白色结晶或粉末，相对密度1.50，潮解性强，易溶于水，还溶于低浓度的甲醇、乙醇、碳酸酯类的有机溶剂。暴露空气中或加热时分解，遇水蒸气作用，放出PF5而产生白色烟雾，具有腐蚀性。